Кристаллы особо чистого искусственного кварца типа "Ювелир"
ОДО.027.009 ТУ
Технические условия распространяются на кварц искусственный кристаллический для особо чистого стекла, служащий сырьем для производства прозрачного особо чистого кварцевого стекла, предназначенного для изготовления тиглей, реакторов физико-термических установок в производстве больших интегральных схем, кассет открытого и коробчатого типа, лодочек из кварцевого стекла для диффузионно-термических процессов обработки кремниевых пластин.
Кварц для стекла выпускается двух марок КС-0 и КС-1 в виде бесцветных кристаллов, форма которых определяется затравкой.
| Наименование | AI | Ca | Fe | Li | Na | K | Ti | ТМП | тмп | FK | ГЖП |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
% |
% |
ppb |
% |
|
| КС-0 | 10 |
2,0 |
1,5 |
1,0 |
4,0 |
1,0 |
0,5 |
- |
- |
- |
- |
| КС-1 | 15 |
3,0 |
2,0 |
1,5 |
6,0 |
1,5 |
2,0 |
- |
- |
- |
0,01 |
| Технологический уровень кристаллов | 4 |
1,5 |
0,8 |
0,8 |
2,0 |
0,5 |
0,4 |
- |
- |
- |
0,01 |
Кварцевые тигли
Особо чистый кварц для полупроводниковой промышленности типа Y-bar
Кристаллы особо чистого кварца типа Y-bar используются в производстве тиглей из кварцевого стекла диаметром 356 и 406 мм для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского.
ОЧК ИКК
| Наименование | AI | Ca | Fe | Li | Na | K | Ti | ТМП | тмп | FK | ГЖП |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
ppm |
% |
% |
ppb |
% |
|
ОСЧ ИКК |
<2 |
<0,2 |
<0,2 |
<0,2 |
<0,1 |
0,1 |
<0,2 |
нет |
нет |
нет |
<0,01 |
Технологический уровень в кристаллах |
<2 |
0,2 |
0,2 |
0,07 |
<0,1 |
0,4 |
<0,4 |
- |
- |
- |
- |
Технологический уровень качества в грануляте без хлора |
2,3 |
0,2 |
0,7 |
0,6 |
0,5 |
<0,2 |
0,4 |
- |
- |
- |
- |
Технологический уровень качества в грануляте с очисткой в хлоре |
<2,0 |
<0,1 |
<0,2 |
<0,3 |
<0,1 |
<0,1 |
<0,1 |
- |
- |
- |
- |
Оснастка для диффузионно-термических процессов обработки кремниевых пластин.
Формат PDF (145 КВ)
Версия для печати
